πρόοδος στην τεχνολογία λιθογραφίας: από 55nm σε 28nm, προκλήσεις στην εγχώρια κατασκευή chip
한어Русский языкEnglishFrançaisIndonesianSanskrit日本語DeutschPortuguêsΕλληνικάespañolItalianoSuomalainenLatina
ωστόσο, οι κατασκευαστές αντιμετωπίζουν τεχνικές προκλήσεις ενώ επιδιώκουν μεγαλύτερη ακρίβεια και μικρότερα μεγέθη τσιπ. μεταξύ αυτών, η ακρίβεια επικάλυψης είναι ένας από τους βασικούς παράγοντες. αν και η ακρίβεια επικάλυψης των οικιακών μηχανών λιθογραφίας duv με ανάλυση 65 nm έχει φτάσει τα ≤8 nm, αυτό είναι μόνο ένα εργοστασιακό πρότυπο, θα προκαλέσει σφάλματα στην πραγματική διαδικασία επεξεργασίας και η τελική επικάλυψη μπορεί να είναι χαμηλότερη, αποτυγχάνοντας να επιτύχει τους αναμενόμενους στόχους.
από τεχνική άποψη, η πολλαπλή έκθεση είναι ένα από τα βασικά τεχνικά μέσα για την υπέρβαση των ορίων. η διπλή και η τετραπλή έκθεση μπορούν να μειώσουν αποτελεσματικά την επικάλυψη και να επιτύχουν μεγαλύτερη ακρίβεια και μικρότερο μέγεθος τσιπ. ωστόσο, αυτό απαιτεί η μηχανή φωτολιθογραφίας να έχει μεγαλύτερη ακρίβεια επικάλυψης για να διασφαλίσει την ακρίβεια πολλαπλών εκθέσεων.
αντίθετα, η βιομηχανία έχει δει τα πλεονεκτήματα του asml nxt:1970 (εμβυθισμένο duv) και του nxt:1980 (εμβυθισμένο duv). αυτά τα δύο μηχανήματα λιθογραφίας διαδραματίζουν βασικό ρόλο στη μαζική παραγωγή της διαδικασίας των 28 nm και παρέχουν στους κατασκευαστές τσιπ μεγαλύτερη ακρίβεια και πιο ισχυρές δυνατότητες παραγωγής. ωστόσο, αυτό δείχνει επίσης τα διαφορετικά στάδια ανάπτυξης της βιομηχανικής τεχνολογίας.
οι εγχώριοι κατασκευαστές μηχανών λιθογραφίας εργάζονται επίσης σκληρά για να επιτύχουν αυτόν τον στόχο. η μετάβαση από το ξηρό duv στο βυθισμένο duv είναι ένα σημαντικό σημείο καμπής και οι τεχνικές δυσκολίες πρέπει να ξεπεραστούν για να επιτευχθεί μια πραγματική ανακάλυψη. η asml κυκλοφόρησε το πρώτο μηχάνημα λιθογραφίας λιθογραφίας duv μαζικής παραγωγής xt: 1700i το 2006, νικώντας την canon και τη nikon και καταλαμβάνοντας την ηγετική θέση στην αγορά μηχανών λιθογραφίας.
στο μέλλον, οι εγχώριοι κατασκευαστές μηχανών λιθογραφίας πρέπει να συνεχίσουν να εργάζονται σκληρά και να διατηρήσουν στενή συνεργασία με διεθνείς ανταγωνιστές για να επιτύχουν στον παγκόσμιο ανταγωνισμό. καθώς η τεχνολογία συνεχίζει να αναπτύσσεται, θα δούμε πιο προηγμένη τεχνολογία κατασκευής chip και θα φέρουμε πιο ισχυρά σενάρια απόδοσης και εφαρμογής σε τομείς όπως η τεχνητή νοημοσύνη, η αυτόνομη οδήγηση και η ιατρική περίθαλψη.