kemajuan dalam teknologi litografi: dari 55nm ke 28nm, tantangan dalam pembuatan chip dalam negeri
한어Русский языкEnglishFrançaisIndonesianSanskrit日本語DeutschPortuguêsΕλληνικάespañolItalianoSuomalainenLatina
namun, produsen menghadapi tantangan teknis saat mengejar presisi yang lebih tinggi dan ukuran chip yang lebih kecil. diantaranya, akurasi overlay adalah salah satu faktor kuncinya. meskipun akurasi overlay mesin litografi duv domestik dengan resolusi 65nm telah mencapai ≤8nm, ini hanya standar pabrik. hal ini akan menyebabkan kesalahan dalam proses pemrosesan sebenarnya, dan overlay akhir mungkin lebih rendah, sehingga gagal memenuhi tujuan yang diharapkan.
dari sudut pandang teknis, paparan ganda adalah salah satu cara teknis utama untuk menembus batasan. eksposur ganda dan empat kali lipat dapat secara efektif mengurangi overlay dan mencapai presisi lebih tinggi serta ukuran chip yang lebih kecil. namun, hal ini memerlukan mesin fotolitografi untuk memiliki akurasi overlay yang lebih tinggi untuk memastikan keakuratan beberapa eksposur.
sebaliknya, industri telah melihat keunggulan asml nxt:1970 (immersed duv) dan nxt:1980 (immersed duv). kedua mesin litografi ini memainkan peran penting dalam produksi massal proses 28nm dan memberikan presisi yang lebih tinggi serta kemampuan produksi yang lebih bertenaga kepada produsen chip. namun hal ini juga menunjukkan tahapan perkembangan teknologi industri yang berbeda.
produsen mesin litografi dalam negeri juga bekerja keras untuk mencapai tujuan ini. peralihan dari duv kering ke duv terendam merupakan titik balik yang penting, dan kesulitan teknis perlu diatasi untuk mencapai terobosan nyata. asml meluncurkan mesin litografi duv imersi pertama yang diproduksi secara massal xt: 1700i pada tahun 2006, mengalahkan canon dan nikon dan menduduki posisi terdepan di pasar mesin litografi.
ke depan, produsen mesin litografi dalam negeri perlu terus bekerja keras dan menjalin kerja sama yang erat dengan kompetitor internasional agar berhasil dalam persaingan global. seiring dengan perkembangan teknologi, kita akan melihat teknologi manufaktur chip yang lebih maju dan menghadirkan kinerja dan skenario aplikasi yang lebih kuat di berbagai bidang seperti kecerdasan buatan, mengemudi otonom, dan perawatan medis.